Leptanie

Sú dve hlavné techniky, ktoré sa používajú pre leptanie polovodičov, za účelom dosiahnuť ponorenú vysokodotovanú oblasť s nasledujúcou výrobou ohmického alebo Schottkyho kontaktu a vytvoriť MESA alebo kovové spojenie. Prvý spôsob je veľmi dobre známe mokré leptanie, ktoré používa kyselinový roztok. V tomto ohľade, jeden inovatívny proces sa týka použitia selektívneho leptania. Kyselina citrónová je predstaviteľ tohto vývinu s dobrou selektivitou. Pre InGaAlAs/InP heteroštruktúry niekoľko kyselinových (kyslých) roztokov taktiež preukáže vysokú selektivitu, najmä HCl (kyselina chlorovodíková). Druhá technika je reaktívne iónové (alebo ióntové) leptanie, ktorá preukazuje vysokú smerovosť. Pre ilustráciu obrázok 4 ukazuje SEM fotografiu MESY leptanej pomocou tejto techniky.