Epitaxia a vytvorenie izolačných ostrovčekov

Polovodičový materiál, zväčša kremík, sa na výrobu monolitických obvodov pripravuje vo forme základných plátkov vyrezaných z monokryštálu. Monokryštál sa pri výrobe najčastejšie dotuje akceptormi, takže základný plátok má vodivosť P. Na základnom plátku, ktorý sa nazýva aj substrát, sa epitaxným rastom vytvorí epitaxná vrstva, ktorá však — na rozdiel od diskrétneho tranzistora — má opačnú vodivosť ako základný plátok (substrát).